一、用途
用于BN系列產(chǎn)品用SiO2、SiN4、多晶硅、磷、硼等襯底的表面處理。
二、主要特征
無色透明液體。其作用是將親水基片表面轉(zhuǎn)化為疏水表面,以增強(qiáng)膠膜與基片表面的粘附能力。
三、理化指標(biāo)
將待處理的基片放在本產(chǎn)品中浸泡20分鐘,然后在200℃下烘30分鐘,冷卻室溫后即可涂膠。
五、包裝
棕色瓶,500mL﹑1000mL,按MOS包裝要求
六、儲運(yùn)條件
本產(chǎn)品易燃,易吸潮,應(yīng)存放在干燥、陰涼處,遠(yuǎn)離火源及高溫。
|
表面處理劑
|
表面處理劑-Ⅱ型
|
外觀
|
無色透明液體
|
無色透明液體
|
六甲基二硅胺烷質(zhì)量分?jǐn)?shù),%
|
30.0±1.0
|
≥98.5
|
水份質(zhì)量分?jǐn)?shù),%
|
≤0.1
|
≤0.2
|
≥5μm顆粒,個/mL
|
≤27
|
≤27
|
單項金屬雜質(zhì),%
|
≤0.0001
|
≤0.0001
|