一、用途 用于去除BN系列產(chǎn)品的膠膜,也可用于其它同類光刻膠膜的去除。 二、主要特征 紅棕色透明液體,能與水﹑醇等溶劑混溶,有腐蝕性。 三、理化指標(biāo) 將待去膠的片子放在盛有去膜劑的燒杯中,置于水浴之中,在80-90℃加熱15-20分鐘,取出后用去離子水沖洗干凈。 五、包裝 棕色瓶,500mL﹑1000mL, 按MOS包裝要求。 六、注意事項(xiàng) 本產(chǎn)品含有酚類及氯化物,有毒且具有腐蝕性,應(yīng)在通風(fēng)櫥內(nèi)操作,應(yīng)戴手套及眼鏡,如濺在皮膚上,要立即用大量水沖洗。。 七、儲(chǔ)運(yùn)條件 本產(chǎn)品含有酚類及氯化物,有毒、具有腐蝕性,應(yīng)儲(chǔ)存在陰涼通風(fēng)處,遠(yuǎn)離火源及高溫。
項(xiàng)目名稱
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指標(biāo)
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外觀
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紅棕色透明液體
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水份質(zhì)量分?jǐn)?shù),%
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≤0.5
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≥5μm顆粒,個(gè)/mL
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≤27
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應(yīng)用實(shí)驗(yàn)
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合格
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單項(xiàng)金屬雜質(zhì),%
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≤0.0001
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