儀器簡(jiǎn)介：

 真空腔體探針臺(tái)通過(guò)改變溫度，光纖，氣體，彎曲樣品臺(tái)....等條件在位進(jìn)行控制和測(cè)試多種參數(shù)(IV,CV,RF,Impedance)

-液氮(-190度~80K)

-氦(-262度~10K)

-氣體:N2,Ar,NH3,O2,H2。。。(MFC 10通道 或更多）

-光纖（250~1200nm波長(zhǎng)）

-高溫(~1000度）

-彎曲樣品臺(tái)：彎曲半徑：~80度

-RF:~67GHz

主要應(yīng)用：廣泛用于半導(dǎo)體、微電子,OLED....的科研和開(kāi)發(fā)。

提供探針臺(tái)部件，包括：長(zhǎng)工作距離顯微鏡、防震桌、屏蔽箱、探針座及各種探針、高溫卡盤(pán)、探針卡、RF探頭、適配器、線纜；

主要參數(shù)：

-主腔室：270dia

-卡盤(pán)（chuck) : 70mm 鍍金或陶瓷材料，

-低漏電流：<1fA

-真空：1*10-3Torr(可升級(jí)到-6torr)

-可視窗口:100mm石英（帶有暗蓋）

-溫度范圍可選：液氮，氦.....

-X/Y樣品臺(tái)：分辨率1um

-顯微鏡&CCD Camera:ＣＣＤ聚焦：400x~1000x(單個(gè)物鏡）

-防震桌