HBI的S.P.E.E.D. TM1000石墨舟自動上下料系統(tǒng)是S.P.E.E.D. TM系列自動化設備中的一員。該設備用于電池生產中管式PECVD的自動裝卸舟,并為印刷線提供自動裝籃功能;適用于HBI管式PECVD及其他標準管式鍍膜設備,并適合各種標準舟和標準花籃;其靈活設計亦適用于其他定制化工藝流程。
S.P.E.E.D. TM1000采用獨特的高精度、高速度、高穩(wěn)定性的TrE TM自動化技術和超凈材料,提高硅片傳輸速度和精度,大幅降低硅片碎片率和表面沾污;其產能可達2000片/小時(10舟/小時),運行時間長;降低對熟練操作工的依賴;節(jié)省生產成本,提高生產效率。
HBI成功實現(xiàn)了裝籃和裝舟過程的六軸機器人精密控制,采用了軟接觸和軟著陸技術,并設計了先進的伺服和編碼系統(tǒng),以提高控制部件和機械部件的配合精度,從而確保裝舟時的精確定位,實現(xiàn)低碎片率和低沾污率。 客戶在選擇HBI工藝設備的同時選用S.P.E.E.D. TM1000自動化設備還可以降低開機調整時間,并獲得HBI服務團隊統(tǒng)一快速的專業(yè)支持
產品特點
精密軟著陸技術,獨特的取/放片結構
柔性機器人裝卸載,降低碎片率
優(yōu)選超凈材料,降低硅片污染
高端精密檢測及伺服運動系統(tǒng),確保高可靠性
友好界面,易安裝、易操作、易維護
結構緊湊、設計小巧,適合各類產線安裝定位
尤其適合車間后期自動化改造
客戶價值
大幅降低硅片碎片率
大幅減少硅片的人工污染
高速、精準的硅片自動化傳輸
減少人工操作、降低開機調整時間
降低熟練工依賴,節(jié)省人工投入
高產出、高運行時間
低折舊費用、低維護費用
節(jié)省生產成本,提高生產效率