一、產(chǎn)品概述

湛儀科技本產(chǎn)品采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù)，能根據(jù)用戶的需求提供精確的在線流量計量。傳感器系采用獨特的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有極高的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達65m/sec。針對不同的應用，傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及 介質(zhì)流速。專門設(shè)計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。
   湛儀科技不同于其它MEMS傳感技術(shù)，單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）。當氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計介質(zhì)體積流量。  

二、流量芯片測量原理

MEMS質(zhì)量流量計是基于熱擴散原理的氣體流量測量儀表，它無須溫壓補償，直接測出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點是：可以直接進行貿(mào)易結(jié)算；沒有活動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單；操作方便。

金氏定律即熱擴散原理。金氏定律：流過熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法?？捎帽磉_式來具體說明：

P/ △ T=A+B（Q）m

其中P表示消耗功率；△T表示兩個傳感器之間的溫度差；

Q表示質(zhì)量流量；m表示指數(shù)系數(shù)，

A， B是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。

三、產(chǎn)品應用

 科教實驗室

 醫(yī)療單位

 電子單位

各種高純氣體的測量

 各種相關(guān)產(chǎn)品配套使用

 供氣計量核算

 相關(guān)行業(yè)工廠使用

四、技術(shù)參數(shù)

量程比             100:1

精度               1.5級

重復性             ±1.0 %

響應時間            <1秒    

工作電源         3.6V電池或12~24VDC   

輸出方式         RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）

通信協(xié)議         MODBUS(RTU),通信方式：RS485

大流量壓損         100Pa

大工作壓力         1.6MPa

工作溫度           -10~+55℃

儲存溫度           -20~+65℃

工作濕度        10~95%RH(無結(jié)露，無凝露)

顯示內(nèi)容     LCD液晶顯示：瞬時流量、累積流量

過程連接      標準法蘭；或卡套式緊固件

適用介質(zhì)       不含水分的氣體

凡是用于空氣、天然氣和管道有粉塵的一定帶過濾器，過濾目數(shù)為1微米。

DN25 ：（1″MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；

DN19：（6′MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；

DN10：（4′MTP內(nèi)螺紋）長度100mm；

1.電池電源線。注：3.6V鋰電池，可內(nèi)置，外置方便電池更換。

2.通訊信號線。注：RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）

3.外置電源線。注：12~24VDC電源

五、流量范圍：MEMF系列流量計范圍

產(chǎn)品型號  通經(jīng)（mm）接口規(guī)格（NPT）流量范圍

MEMF3025    DN25     1″       0.7-70m3/h

MEMF3019    DN19   3/4″      0.4-40 m3/h

MEMF3010    DN10   1/2″      0.1-10 m3/h

MEMF4010    DN10   1/2″      0.06～6 m3/h      1～100 L/min

MEMF4008    DN8    1/2″      0.03～3 m3/h      0.5～50L/min

MEMF4006    DN6    1/2″      0.012～1.2 m3/h      0.2～20 L/min

MEMF5006    DN6    1/4″      0.2～20 L/min     200～20000 ml/min

MEMF5003    DN3    1/4″      0.002～0.2 L/min  2～200 ml/min