基于***新的電子設(shè)備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astAcqTM技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集,雙單色儀系統(tǒng)可達(dá)到0.1-2 nm。
AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點(diǎn),使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡(jiǎn)便,易于非專業(yè)人員上手操作。
速度提升1.5倍
UVISEL Plus集成了***新的FastAcqTM快速采集技術(shù),可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試(190-2100 nm),校準(zhǔn)僅需幾分鐘。
靈敏度提升2倍
基于25年經(jīng)驗(yàn),UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測(cè)量,***新的FastAcqTM速采集技術(shù)使得測(cè)試靈敏度提高至原有的兩倍,從而能獲得面薄膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。
靈活拓展
UVISEL Plus橢偏儀模塊化設(shè)計(jì),可靈活拓展,以適應(yīng)的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商,UVISEL Plus統(tǒng)的可升級(jí)性能將更好的滿足您未來(lái)的應(yīng)用需求。
卓越的性能
UVISEL Plus基于相位調(diào)制技術(shù),相位調(diào)制與高質(zhì)量消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的特有結(jié)合提供了無(wú)可匹的膜厚測(cè)試效果。
•信號(hào)采集過(guò)程無(wú)移動(dòng)部件
•光路中無(wú)增加元件
•高頻調(diào)制 50 kHz
•測(cè)試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90,Δ (0-360)
規(guī)格
項(xiàng)目
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內(nèi)容
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光譜范圍
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UVISEL Plus:190 - 885 nm
UVISEL Plus NIR:190 - 2100 nm
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光源
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75 W 氙燈
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標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸
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< 3 mm (90º)
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手動(dòng)平臺(tái)
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150 mm, 手動(dòng)調(diào)節(jié)高度 (20 mm) 和傾斜角
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入射角
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手動(dòng):55º - 90º,步長(zhǎng)5º
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FUV-VIS范圍
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高靈敏度光電倍增管檢測(cè)器&低雜散光
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NIR范圍
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InGaAs檢測(cè)器
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